VIONiC™系列光柵系統

VIONiC光柵系列集成了雷尼紹先進(jìn)的光學(xué)濾波系統設計與細分技術(shù)。這是一款高性能數字一體化增量式光柵，其優(yōu)點(diǎn)包括無(wú)需額外使用適配器或單獨的接口。VIONiC適用于多種要求嚴苛的應用場(chǎng)合，包括要求具備動(dòng)態(tài)運動(dòng)控制性能、超高精度和更快速度的應用。

VIONiC讀數頭系列具有兩種型號，分別為VIONiC和

VIONiCplus™，二者均可提供多種配置，旨在優(yōu)化您的運動(dòng)控制系統的速度和性能。由于安裝公差大并且可自動(dòng)校準，因此兩種型號的安裝均快捷簡(jiǎn)單。

VIONiC的標準型號采用了動(dòng)態(tài)信號處理技術(shù)，可提高信號穩定性，其典型電子細分誤差(SDE) <±30 nm，分辨率達20 nm。

VIONiCplus系統則具備更加優(yōu)異的性能，其可實(shí)現<±10 nm的極低電子細分誤差和2.5 nm的分辨率，有助于在20 μm柵距增量式光柵系統中實(shí)現的運動(dòng)控制性能。

VIONiC™系列光柵系統特點(diǎn)

• 緊湊型讀數頭(35 x 13.5 x 10 mm)

• 與配有IN-TRAC™自動(dòng)調相光學(xué)參考零位（基準）的直線(xiàn)柵尺和圓光柵兼容

• 優(yōu)化的第三代光學(xué)濾波系統實(shí)現了更低的噪聲（抖動(dòng)）

• 動(dòng)態(tài)信號處理技術(shù)可確保典型值<±30 nm (VIONiC) 或低至<±10 nm (VIONiCplus)的超低電子細分誤差

• 自動(dòng)增益控制、自動(dòng)平衡控制和自動(dòng)偏置控制確保了一致的信號強度和長(cháng)期可靠性

• 內置LED安裝指示燈令安裝更加輕松

• 最大速度可達12 m/s（分辨率為0.1 μm時(shí)，速度可達3.63 m/s）

• 直接從讀數頭輸出數字信號：VIONiC分辨率從5 μm至20 nm   VIONiCplus分辨率從0.1 μm至2.5 nm

• 內置雙限位（僅限直線(xiàn)光柵）

• 工作溫度最高70 °C

• 可選的高級診斷工具(ADT) 可優(yōu)化安裝并協(xié)助系統查錯

VIONiC™系列光柵系統特性

•  需要更高的速度？當達到高時(shí)鐘速度（50 MHz計時(shí)器速度）時(shí)，VIONiC讀數頭能夠在最大工作速度下以高分辨率輸出最小分離時(shí)間為25.3 ns的正交邊緣。

•  需要更高的精度？VIONiC讀數頭與各種直線(xiàn)柵尺和圓光柵兼容，從熱膨脹系數低至±1 μm/m的直線(xiàn)柵尺，到整體安裝精度達±1角秒的圓光柵。

•  需要更優(yōu)異的運動(dòng)控制性能？VIONiCplus采用我們最新的細分算法和信號處理技術(shù)，可實(shí)現 <±10 nm的極低電子細分誤差。低電子細分誤差(SDE) 等同于低速度紋波，這對于掃描測量系統等恒定速度應用來(lái)說(shuō)十分重要。VIONiCplus的智能細分芯片可實(shí)現8 000 x細分值，相當于讀數頭輸出分辨率直接達到2.5 nm。該系統適合在精度和重復性極為重要的應用場(chǎng)合使用。

VIONiC和VIONiCplus直線(xiàn)光柵讀數頭的典型電子細分誤差圖

VIONiC™系列光柵系統讀數頭

• VIONiC讀數頭：20 μm高性能數字一體化增量式開(kāi)放光柵。它的分辨率低至20 nm，具有多種配置，可優(yōu)化運動(dòng)控制系統的速度。VIONiC的動(dòng)態(tài)信號處理功能可提高信號穩定性，且電子細分誤差通常小于±30 nm，從而有助于實(shí)現高的運動(dòng)控制性能。例如，VIONiC與不銹鋼RTLC20柵尺組合后，可用于各種直線(xiàn)運動(dòng)控制應用場(chǎng)合，兼具鋼帶柵尺的便利性和高的堅固性。

• VIONiCplus讀數頭：除了具備VIONiC讀數頭的所有優(yōu)點(diǎn)之外，VIONiCplus讀數頭的分辨率更可達到2.5 nm，同時(shí)具有同類(lèi)產(chǎn)品中低的電子細分誤差(<±10 nm)，適合各種要求嚴苛的應用場(chǎng)合。VIONiCplus可與具有高精度且“零"熱膨脹的RELM直線(xiàn)柵尺配合使用，提供高水平的測量性能。

VIONiC™系列光柵系統兼容型柵尺

• 不銹鋼鋼帶柵尺 (RTLC20)：可直接安裝在創(chuàng )新型FASTRACK™導軌系統內的RTLC20柵尺，以及直接安裝至基體的背面自帶不干膠帶的RTLC20-S鋼帶柵尺。

-精度：±5μm/m（包括斜度和線(xiàn)性精度）

-線(xiàn)性精度：可通過(guò)兩點(diǎn)誤差修正實(shí)現±2.5μm/m

-最大長(cháng)度：10m

-熱膨脹系數：20 °C時(shí)為10.1±0.2μm/m/°C

• 不銹鋼直線(xiàn)柵尺(RSLM)：防震的不銹鋼柵尺，提供比玻璃柵尺更高的精度和更長(cháng)的長(cháng)度。

-精度：在完整的5米長(cháng)度上可實(shí)現±4 μm的總體精度

-最大長(cháng)度：5 m

-熱膨脹系數：20 °C時(shí)為10.1 ±0.2 μm/m/°C

• ZeroMet直線(xiàn)柵尺 (RELM)：堅固的低膨脹鎳合金柵尺。

-精度：在1米長(cháng)度內可實(shí)現±1μm的總體精度

-最大長(cháng)度：1.5 m

-熱膨脹系數：20 °C時(shí)為0.75 ±0.35 μm/m/°C

• 不銹鋼圓光柵(RESM)：具有錐面安裝方式的圓光柵，大通孔設計使其更便于安裝。

-刻劃精度：±0.38角秒（直徑550mmRESM圓光柵）

-圓光柵直徑：52mm至550mm

-熱膨脹系數：20°C時(shí)為15.5±0.5μm/m/°C

• 不銹鋼圓光柵 (REXM)：超高精度圓光柵。

-總體安裝精度：使用兩個(gè)VIONiC讀數頭和一個(gè)DSi，可輕松消除偏心以實(shí)現高達±1角秒的總體安裝精度

-圓光柵直徑：52mm至417mm

-熱膨脹系數：20°C時(shí)為15.5±0.5μm/m/°C

VIONiC™系列光柵系統附件

輕松查錯和維護

可選的高級診斷工具(ADT)（訂貨號：A-6195-0100）提供來(lái)自VIONiC光柵的全面實(shí)時(shí)反饋。

該工具可用于要求苛刻的安裝和查錯。

它提供：

• 遠程校準功能

• 在整個(gè)軸長(cháng)上進(jìn)行信號優(yōu)化

• 讀數頭俯仰指示

• 限位和參考零位指示

• DRO和利薩如圖形輸出

使用建議的USB電纜(A-9572-0098)可將ADT直接連接至計算機。

VIONiC™系列光柵系統通用規格

*

VIONiC™系列光柵系統讀數頭訂貨號

V2 B B X30D 50 B

V2——系列   V2 – 20 μm VIONiC   S2 – 20 μm VIONiCplus

B———讀數頭類(lèi)型  B – 標準（直線(xiàn)光柵和圓光柵 ∅>135 mm） C – 圓光柵 ∅<135 mm

B———柵尺類(lèi)型兼容性 

B – RSLM/RELM

C – RTLC20

J – RESM/REXM ∅>135 mm

K – RESM/REXM ∅60 mm至 ∅135 mm

L – RESM/REXM ∅<60 mm

M – RGSZ圓弧 ∅>135 mm

N – RGSZ圓弧∅≤135 mm

X———分辨率

30———電纜長(cháng)度

02 – 0.2 m

05 – 0.5 m

10 – 1 m

15 – 1.5 m

20 – 2 m

30 – 3 m

D———電纜端接

A – 9針D型（僅三態(tài)警告，無(wú)限位）

D – 15針D型（標準輸出針腳）

H – 15針D型（可選輸出針腳）

X – 12針圓形插頭

50———時(shí)鐘輸出選項  50, 40, 25, 20, 12, 10, 08, 06, 04, 01 (MHz)

B———警告格式和參考零位選項

A – 線(xiàn)驅警告，用戶(hù)可選的參考零位

B – 線(xiàn)驅警告，所有參考零位均為輸出

E – 三態(tài)警告，用戶(hù)可選的參考零位

F – 三態(tài)警告，所有參考零位均為輸出

VIONiC™系列光柵系統兼容產(chǎn)品